HomeProjects機械人及先進製造技術用於光刻領域的「萬能墨水」

用於光刻領域的「萬能墨水」

項目簡介

項目負責人

  • 楊森教授

    物理系

  • 資助機構

    研究資助局

  • 專利

    一項歐洲專利、一項美國專利及一項中國專利註冊

中大物理系的研究團隊以嶄新的方法進行高精度的材料沉積,研發出「萬能墨水」。「萬能墨水」由不同的金屬鹽溶液加入半導體納米顆粒溶膠製成,再運用光鑷技術和半導體光電子效應,透過激光引發化學還原反應,合成金屬納米顆粒。顆粒會像「膠水」一樣互相黏附,並沉積在晶片基底。只要改變激光的聚焦點,便可選擇金屬納米顆粒沉積位置;墨水中的金屬成分亦可隨意調整,以配合不同晶片的應用。

 

用鉑金「萬能墨水」打印的中大校徽(白色比例尺代表50微米)
示範用兩種不同金屬(鉑金和黃金)打印圖案。 太極標誌 (左);熊貓圖案 (右)(白色比例尺代表50微米)
3D打印的金屬地形圖 (上)(灰色比例尺代表100微米)及柔性材料及電路修復槪念圖 (下)
研究團隊成員
研究團隊發現,傳統書法及水墨畫使用的碳素墨水中的碳納米顆粒,是「萬能墨水」最理想的原材料

特點及優勢:

  • 可用多種材料製作複雜的圖案,增加晶片的應用範圍
  • 設備簡單,便於大規模推廣
  • 成本低廉,可回收再用,大大減低對環境的污染
  • 可配合光學測量/量度儀器,監控金屬結構在沉積過程的精確度和質量

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